微电子材料为对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、全面地介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展。全书主要包括微电子材料的分类及性能、微电子器件中材料的选择、不同微电子材料与器件的加工工艺以及微电子材料的性能测试技术等。微电子材料与器件制备领域的工程技术人员、研发人员阅读使用，也可作为高等院校材料科学与工程、电子科学与技术、化学工程、机械设计与制造等

1概述1

1.1微电子技术1

1.2微电子材料及其应用2

1.3工艺3

1.4器件4

1.5未来趋势4

2单晶6

3薄膜18

4光刻、铸造和压印42

5刻蚀与化学机械抛光80

6清洗与表面预处理110

7表面层改性128

8晶片键合技术147

9工艺集成158

10CMOS晶体管181

11MEMS工艺集成202

12微电子材料与器件性能测量分析215